• ERS 일렉트로닉과 MPI 코퍼레이션은 현재 인기있는 열관리 척 AirCool® PRIME의 200mm 버전을 제공하고 있다

  
  

뮌헨-반도체 시장용 열관리 솔루션 제조업계를 선도하는 ERS 일렉트로닉(ERS electronic GmbH, 이하 ERS)이 고객들이 선호하는 200mm 웨이퍼 포맷용 ‘에어쿨 프라임(AirCool® PRIME)’을 출시한다.

ERS는 300mm 버전과 성능은 동일하되 폼팩터는 줄인 200mm 버전으로 또 한 번의 혁신을 일궈냈다.

2018년 초에 출시된 첨단 프라임 기술은 프로버(prober) 제조업체인 MPI 코퍼레이션(MPI Corporation)과의 협력이 있었기에 탄생할 수 있었다. 성능은 그대로 유지하면서 테스트 비용은 낮추는 프라임의 독창적인 여러 기능 덕분에 2년이 지난 지금도 열 시험 기술의 선두 자리를 굳건히 지키고 있다. 한 자릿수 펨토암페어(Femto-Ampere, fA) 내에서 유감없이 발휘하는 초저소음(ultra-low noise, ULN) 기능과 업계에서 가장 짧은 흡수시간(soak time)은 프라임이 자랑하는 독보적인 기능이다.

프라임은 영하 65°C에서 영상 300°C까지의 범위 안에서 설정이 가능하기 때문에 고주파 및 고전압 애플리케이션 시험에 이상적이다. 또 PTS(PRIME Thermo Shield)와 웨이퍼 주변 ‘국소환경(mini-environment)’을 통해 온도 변화 이후에 발생하는 전이 시간과 안정화 시간을 대폭 줄였고, 그 결과 전체 시험 시간이 짧아졌다.

에어쿨 프라임 200은 탄화규소(Silicon Carbide, SiC)와 같은 신소재용 포맷으로 인기를 끌 전망이다. 에어쿨 프라임 200은 사용하기 편리하고 모판(top plate) 교체가 가능하며 온도 및 진공 표면 설정과 관련된 업그레이드 경로가 다양하다.

MPI 코퍼레이션에서 첨단 반도체 사업부를 총괄하는 스토얀 카네프(Stojan Kanev)는 “MPI 코퍼레이션은 넓은 열 시험 범위와 현장 업그레이드 기능을 탑재한 200mm 프라임 기술을 제공하게 되어 기쁘게 생각한다”며 “프라임 200은 초저소음, 1/f, RTN, RF, mmW, 고성능 정밀 측정 등 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있다”고 말했다. 이어 “프라임 200은 기존 프라임 제품과 마찬가지로 시험 비용과 공간, 흡수시간, CDA 소모량을 대폭 줄였다”며 “MPI 코퍼레이션과 ERS의 고객지향적 솔루션 개발 역량을 그대로 확인할 수 있다”고 덧붙였다.

로랑 지에-미네(Laurent Giai-Miniet) ERS 최고경영자는 “프라임 기술이 커넥티비티 및 E-모빌리티(electromobility) 기기용 웨이퍼 프로브에 널리 사용되며 열 시험 산업계에서 인기를 끌고 있는 모습을 보면 무척 뿌듯하다”며 “200mm 버전은 웨이퍼 프로브 시장의 성장을 가속화하는 데 큰 도움이 될 것”이라고 말했다. 이어 “웨이퍼 프로브 시장은 웨이퍼 시험에서 가장 어려운 공간으로 남아 있으며 ERS 혁신의 주요 목표”라며 “MPI 코퍼레이션과의 협력은 웨이퍼 탐침 시장에 첨단 열관리 솔루션을 선보이는데 큰 밑거름이 되었다”고 덧붙였다.

ERS 개요

독일 뮌헨에 위치한 ERS는 50여년간 혁신적인 산업용 열 시험 솔루션을 생산해왔다. 빠르고 정확한 공기 냉각 기반의 열관리 척 시스템을 생산하는 기업으로 업계에 명성이 높다. ERS의 열관리 척 시스템은 영하 65°C에서 영상 550°C에 이르는 범위 안에서 온도를 시험한다. ERS가 개발한 AC3, 에어쿨 프라임(AirCool® PRIME), 에어쿨(AirCool®), 파워센스(PowerSense®) 등의 열관리 척 시스템은 현재 모든 대형 웨이퍼 프로버에 구성요소로 탑재되어 반도체 산업 전반에 사용되고 있다.

MPI 코퍼레이션(MPI Corporation) 개요

1995년에 설립된 MPI 코퍼레이션은 반도체, LED, 광소자(Photo-detector), 레이저, 소재 연구, 항공, 자동차, 광섬유, 전자 부품 등의 분야를 선도하는 글로벌 기술 기업으로 대만 신주에 본사를 두고 있다. 프로브 카드, 포토닉스(Photonics) 자동화, 첨단 반도체 시험, 열관리 등 4개 사업을 주력 사업으로 펼치고 있다. 첨단 프로브 카드 장비에서 프로버, 시험기, 소재 처리기, 검사 및 열식 공기 시스템에 이르기까지 다양한 제품군을 판매하며, 제품 중 상당수가 최신 ‘칼리브레이션 테스트·측정(Calibration Test & Measurement)’ 소프트웨어 세트를 탑재하고 있다. 다양한 제품 포트폴리오는 직원들의 만족도를 높이는 요인이기도 하다. MPI 코퍼레이션은 부서별 제품 기술 교류를 통해 제품 혁신을 촉진, 고객의 요구에 부응한다. MPI 코퍼레이션은 타이베이 거래소(TPEx)에 상장한 대만 첫 프로브 카드 기업이다.

웹사이트: https://www.ers-gmbh.com/