• 지올, 쇼트키 전계 방출 주사 전자 현미경 JSM-IT800(i)/(is) 버전 출시

  
  

도쿄-지올(JEOL Ltd.)(도쿄증권거래소: 6951)(사장 겸 COO, 오이 이즈미, Izumi Oi)이 쇼트키 전계 방출 전자 현미경(Schottky Field Emission Electron Microscope) JSM-IT800(2020년 5월 출시)의 반도체 소자 관찰에 최적화된 세미-인-렌즈 버전(i)/(is)을 개발했다고 발표했다.

개발 배경

주사 전자 현미경(SEM)은 나노기술, 금속, 반도체, 세라믹, 의학, 생물학 등 다양한 분야에 사용된다. 연구개발뿐만 아니라 제조현장의 품질관리 및 제품 검사까지 SEM 적용 범위가 확대되면서 SEM 사용자들은 신속한 고품질 데이터 획득과 원활한 분석 작업을 통한 간단한 구성정보 확인을 필요로 한다.

이런 수요를 충족시키기 위해 JSM-IT800은 고해상도의 이미지 처리를 위한 인-렌즈 쇼트키 플러스(Shottky Plus) 전계 방출 전자총과 혁신적인 전자광학 제어 시스템 ‘네오 엔진(Neo Engine)’ 그리고 공통 플랫폼으로 빠른 기본 매핑을 위한 내장형 지올 에너지 분산 X선 분광계(ED)를 갖춘 매끄러운 GUI ‘SEM 센터’ 시스템을 통합했다. 또한 JSM-IT800은 모듈별로 SEM의 대물 렌즈 교체가 가능해 다양한 사용자 요구를 충족할 수 있는 여러 가지 버전을 제공한다.

JSM-IT800은 범용 FE-SEM인 하이브리드 렌즈 버전(HL), 고해상도 관찰과 분석이 가능한 슈퍼 하이브리드 렌즈 버전(SHL/SHL, 기능이 다른 두 버전) 그리고 새로 개발된 세미-인-렌즈 버전(i/is, 기능이 다른 두 버전) 등 5가지 버전으로 제공되며 반도체 소자 관찰에 적합하다.

또한 JSM-IT800에는 새로운 신틸레이터 후방 산란 전자 검출기(SBED)를 장착할 수 있다. SBED는 반응성이 뛰어나 실시간 영상을 쉽게 관찰할 수 있으며, 낮은 가속 전압에서도 예리하게 소재를 대비시켜준다.

특징

1. 인-렌즈 쇼트키 플러스 전계 방출 전자총

전자총과 저수차(low-aberration) 콘덴서 렌즈를 통합해 더욱 밝은 명도를 제공한다. 저가속 전압(5kV에서 100nA)에서 충분한 프로브 전류를 사용할 수 있다. 독자적인 인-렌즈 쇼트키 플러스 시스템을 통해 고해상도 이미지 처리부터 빠른 기본 매핑, 전자 후방산란 회절(EBSD) 분석 등 다양한 분야에 응용할 수 있다.

2. 네오 엔진(새로운 전자 광학 엔진)

네오 엔진은 다년간의 지올 핵심 기술이 축적된 첨단 전자 광학 시스템이다. 사용자는 관측 환경이나 분석 조건이 다양하게 바뀌더라도 안정적으로 관측할 수 있다. 자동 기능을 위한 고도의 조작성이 크게 강화됐다.

3. SEM 센터/EDS 통합

GUI ‘SEM 센터’는 SEM 이미지 처리 및 EDS 분석과 완벽하게 통합돼 원활하고 직관적인 작업을 가능케 한다. JSM-IT800은 초보 사용자를 지원하고 학습 경로를 제공하는 스마일내비(SMILENAVI)와 우수한 품질의 실시간 이미지를 제공하는 LIVE-AI 필터(라이브 이미지 비주얼 강화 - AI)와 같은 선택적 소프트웨어 애드온(Add-on)을 더해 기능을 향상할 수 있다.

4. 세미-인-렌즈 버전(i/is)

세미-인-렌즈는 대물 렌즈 아래 형성된 전자 빔과 강한 자기장 렌즈를 수렴해 초고해상도 성능을 달성한다. 또한 이 시스템은 표본에서 방출되는 저에너지 이차 전자를 효율적으로 수집해 상부 인-렌즈 감지기(UID)로 전자를 검출한다. 따라서 반도체 소자의 고장 분석에 필요한 기울여진 표본과 횡단면 표본의 고해상도 관찰 및 분석이 가능하다. 전압 차이 관찰에도 매우 유용하다.

5. 상부 전자 감지기(UED)

상부 전자 감지기를 대물 렌즈 위에 장착할 수 있다. 이 시스템은 후방 산란 전자 이미지를 획득할 수 있고, 표본 바이어스와 결합해 이차 전자 이미지를 획득할 수 있다는 것이 장점이다. 표본에서 방출되는 전자는 대물 렌즈 내부의 UID 파일러를 통해 선택된다. UED 및 UIT를 사용하면 한 번의 스캔으로 여러 가지 정보를 얻을 수 있다.

웹사이트: http://www.jeol.com